トリフルオロブロモシラン

基本情報

• 化学名: トリフルオロブロモシラン
• CAS番号: 14049-39-9
• 化学分子式: BrF₃Si
• 分子量: 164.985
• Mol ファイル ダウンロード: 14049-39-9.mol

別名: トリフルオロブロモシラン , ブロモトリフルオロシラン , bromotrifluorosilane ,

関連する cas 番号: 10000-42-7 100-00-5 1000-05-1 10000-56-3 100007-55-4 100010-02-4 10001-13-5 10001-43-1 100015-12-1 100-01-6

化学物質詳細情報

物性情報:

安全性情報:

• ピクトグラム:
• 危険コード:
• ステートメント:
• 安全に関する声明:

用途:

• 紹介と応用です: トリフルオロブロモシランは、化学式 SiBrF3 を持ち、シリコン、臭素、およびフッ素の原子から成る化合物です。半導体産業で蒸発沈積プロセスに用いられ、特に電子デバイス用のシリコンフィルムの製造に使われます。高い反応性があり、高品質で純粋なシリコンフィルムを効率的に沈積する能力があります。また、コーティング、ポリマー、セラミックスなどのシリコン含有材料の製造において前駆物としても用いられます。しかし、トリフルオロブロモシランは毒性があり、皮膚、目、呼吸器に刺激を与える可能性があるため、適切に扱う必要があります。