テトラキス(ジエチルアミノ)シラン

基本情報

• 化学名: テトラキス(ジエチルアミノ)シラン
• CAS番号: 17048-10-1
• 化学分子式: C₁₆H₄₀N₄Si
• 分子量: 316.606
• Hs コード: 2931900090
• Mol ファイル ダウンロード: 17048-10-1.mol

別名: テトラキス(ジエチルアミノ)シラン , ジエチル[トリス(ジエチルアミノ)シリル]アミン , diethyl[tris(diethylamino)silyl]amine ,

関連する cas 番号: 1999-85-5 19997-52-5 19997-48-9 19996-92-0 19996-91-9 19996-88-4 19996-87-3 19996-76-0 19996-03-3 19996-02-2

化学物質詳細情報

物性情報:

安全性情報:

• ピクトグラム:
• 危険コード:
• ステートメント:
• 安全に関する声明:

用途:

• 法規制番号: EINECS2411158 , TSCA(17048-10-1) ,
• 紹介と応用です: テトラキス(ジエチルアミノ)シランは、化学式 Si(N(C2H5)2)4 を持ち、無色で非常に粘性のある液状の化合物です。微細な臭いを放ちます。主に非結晶シリコンニトリドおよびシリコンカルシニトリド薄膜の製造に用いる前駆物質として使用されており、これらの薄膜はマイクロ電子および半導体産業において応用されています。また、シリコンを含むポリマーの合成に用いるレアジェントとしても使用されており、コーティングの接着性向上のための表面処理剤としても利用されています。さらに、テトラエチルオルシリケートの代替としてシリコンジオキシド膜の製造にも推奨されています。可燃性があり活性があるため、取扱いには適切な注意が必要です。