テトラ(トリメチルシリル)メタン

基本情報

• 化学名: テトラ(トリメチルシリル)メタン
• CAS番号: 1066-64-4
• 化学分子式: C₁₃H₃₆Si₄
• 分子量: 304.771
• Hs コード: 2931900090
• Mol ファイル ダウンロード: 1066-64-4.mol

別名: メタンテトライルテトラキス(トリメチルシラン) , テトラ(トリメチルシリル)メタン , テトラキス(トリメチルシリル)メタン , トリメチル[トリス(トリメチルシリル)メチル]シラン , trimethyl[tris(trimethylsilyl)methyl]silane ,

関連する cas 番号: 1999-85-5 19997-52-5 19997-48-9 19996-92-0 19996-91-9 19996-88-4 19996-87-3 19996-76-0 19996-03-3 19996-02-2

化学物質詳細情報

物性情報:

安全性情報:

• ピクトグラム:
• 危険コード:
• ステートメント:
• 安全に関する声明:

用途:

• 法規制番号: EINECS2139204 , TSCA(1066-64-4) ,
• 紹介と応用です: テトラ(トリメチルシリル)メタンは、化学式がC12H36Si4を持ち、296.85 g/molの分子量を持つ無色の液体の化合物です。半導体産業でシリコンを含む膜の化学蒸気沈積のための前駆物質としてよく使用され、有機合成においては特にシリコンを含む化合物の改変に用いる反応剤としても利用されています。しかし、非常に可燃性があるため、扱いには注意が必要です。