ジメチルジフルオロシラン

基本情報

• 化学名: ジメチルジフルオロシラン
• CAS番号: 353-66-2
• 化学分子式: C₂H₆F₂Si
• 分子量: 96.1519
• Hs コード: 2931900090
• Mol ファイル ダウンロード: 353-66-2.mol

別名: ジフルオロジメチルシラン , ジメチルジフルオロシラン , difluorodimethylsilane ,

関連する cas 番号: 30000-36-3 30000-37-4 300-01-6 30003-49-7 3000-39-3 30004-10-5 30006-30-5 3000-74-6 30007-47-7 3000-75-7

化学物質詳細情報

物性情報:

安全性情報:

• ピクトグラム: F
• 危険コード: F
• ステートメント: 12-34
• 安全に関する声明: 9-16-26-36/37/39-45

用途:

• 法規制番号: EINECS2065405 , TSCA(353-66-2) ,
• 紹介と応用です: ジメチルジフルオロシランは、化学式が(CH3)2SiF2を持ち、無色の、可燃性があり、強い臭いを放つガスである化学物質です。主にシリコンベースの材料や化合物の前駆体として使用され、半導体産業でシリコンジオキサイドやシリコンナトリドの薄膜の化学気相沈積（CVD）に用いられます。また、シリコンポリマーの製造や有機合成でのレアジェントとしても利用されています。しかし、非常に活性があり、可燃性や空気や水と反応して有毒な副産物を形成する可能性があるため、注意深く取り扱う必要があります。