三フッ化窒素

基本情報

• 化学名: 三フッ化窒素
• CAS番号: 7783-54-2
• 化学分子式: F3N
• 示性式: NF3
• 分子量: 71.0019
• Hs コード: 28129011
• Mol ファイル ダウンロード: 7783-54-2.mol

別名: トリフルオロアミン , 窒素トリフルオリド , trifluoroamine ,

関連する cas 番号: 70-11-1 74752-93-5 71658-21-4 78910-33-5 76219-34-6 71621-70-0 71292-82-5 782-45-6 71653-11-7 74779-66-1

化学物質詳細情報

物性情報:

• 熱安定性: 不安定
• 外観: 無色気体
• 臭気: カビ臭い臭気
• その他特徴: 毒性かつ腐食性を有する。空気より重い。強力な酸化剤。
• 分子量: 71-71.01
• 比重: 1.53-2.46
• 比重測定温度: -129-20deg C
• 溶解度記述: 水溶．水に不溶
• 融点: -208.5deg C
• 沸点: -129deg C
• 燃焼性: 非引火性
• 混合危険性: 還元剤との混合。
• 混合発火危険性程度: 加圧下での還元剤との化学反応による爆発の危険性がある。Ｈ２と混ぜて点火すると激しく反応する。
• 酸アルカリ分解性: 酸，アルカリによって変化しない。
• 熱分解性: 熱せられると爆発し、火花で発火するおそれがある。
• その他の化学反応: 強力な酸化剤であるが、常温常圧では他の点では不活性。
• 酸塩基安定性: 安定

安全性情報:

• ピクトグラム: O
• 危険コード: O
• ステートメント: 8-20
• 安全に関する声明: 17-23-38

用途:

• 法規制番号: 1-(3)-288 , TSCA(7783-54-2) ,
• 用途语: 三フッ化窒素（Nitrogen trifluoride）は、主に半導体製造プロセスやプラズマエッチング、クリーニングプロセスなどの工業用途において使用される無機フッ素化合物です。半導体産業では、三フッ化窒素はシリコンウェハーの洗浄やエッチングに利用され、微細な回路や構造の製造において重要な役割を果たします。また、三フッ化窒素はガス除去やクリーニングプロセスにも応用され、その高い揮発性と化学的安定性から、真空システムや高い潔癖度が求められる環境で広く使用されています。ただし、三フッ化窒素は強力な酸化剤であり、取り扱いには慎重が必要であり、特に安全対策が求められます。そのため、産業プロセスや実験室での使用に際しては、適切な取り扱いと安全対策が常に重要とされています。