メチルビス(ジメチルアミノ)シラン

基本情報

• 化学名: メチルビス(ジメチルアミノ)シラン
• CAS番号: 22705-33-5
• 化学分子式: C₅H₁₆N₂Si
• 分子量: 132.281
• Hs コード: 2931900090
• Mol ファイル ダウンロード: 22705-33-5.mol

別名: メチルビス(ジメチルアミノ)シラン , ビス(ジメチルアミノ)(メチル)シラン , N,N,N′,N′,α-ペンタメチルシランジアミン , [(ジメチルアミノ)(メチル)シリル]ジメチルアミン , [(dimethylamino)(methyl)silyl]dimethylamine ,

関連する cas 番号: 20001-29-0 20001-64-3 20002-32-8 2000-40-0 20004-00-6 20004-12-0 2000-43-3 20004-62-0 20005-42-9 2000-66-0

化学物質詳細情報

物性情報:

安全性情報:

• ピクトグラム: F; C
• 危険コード: F; C
• ステートメント: 11-34
• 安全に関する声明: S16; S26; S36/37/39; S45

用途:

• 法規制番号: EINECS2451630 , (2)-3198 , TSCA(22705-33-5) ,
• 紹介と応用です: メチルビス(ジメチルアミノ)シランは、CAS番号15112-89-7で識別される無色の非常に不安定な化合物です。液体で、微弱なアミン臭が特徴で、半導体産業で化学蒸気沈積やアトミックレイヤー沈積の前駆物質として使用されます。これは、表面の薄膜形成に関連しています。メチルビス(ジメチルアミノ)シランは、窒素、炭素、矽、水素の元素から構成されており、水分に対して非常に敏感です。また、可燃性、毒性、腐食性があるため、安全管理が求められます。