テトラ(ジエチルアミノ)チタン(IV)

基本情報

• 化学名: テトラ(ジエチルアミノ)チタン(IV)
• CAS番号: 4419-47-0
• 化学分子式: C₁₆H₄₀N₄Ti
• 分子量: 336.4
• Hs コード: 2921 19 50
• Mol ファイル ダウンロード: 4419-47-0.mol

別名: テトラキス(ジエチルアミノ)チタン(IV) , テトラ(ジエチルアミノ)チタン(IV) , ジエチル[トリス(ジエチルアミノ)チタニオ]アミン , diethyl[tris(diethylamino)titanio]amine ,

関連する cas 番号: 40015-60-9 4036-59-3 40053-98-3 4151-05-7 40401-41-0 41999-84-2 41459-42-1 40216-82-8 4533-25-9 42149-31-5

化学物質詳細情報

物性情報:

安全性情報:

• ピクトグラム: FXi
• 危険コード: FXi
• ステートメント: 11-36/37/38
• 安全に関する声明: S16-S26-S37/39

用途:

• 紹介と応用です: テトラ(ジエチルアミノ)チタン(IV)は、半導体業界や薄膜形成、ダイヤモンド様カーボン層のエッチングプロセス、および蒸着システムの前駆体パッケージに使用されるチタン源の前駆体です。原子層蒸着法を使用してチタンナノ化物(TiN)薄膜を形成する際に非常に有用で、その薄膜は半導体デバイスの性能に不可欠です。また、エレクトロニクス、オプティクス、航空宇宙などさまざまな産業で使用されるチタンナノ化物(TiN)の薄膜形成にも使用されており、その優れた特性として高硬度、摩耗抵抗性、腐食抵抗性があります。さらに、ダイヤモンド様カーボン(DLC)層のエッチングプロセスにも使用されており、その使用により、DLC層の精確で制御された除去が実現し、最適な性能と耐久性を確保できます。また、蒸着システムの前駆体パッケージとしてパッケージ化され、研究者や産業関係者にとって安全で一貫したチタン前駆体の供給源となっています。