含フッ素ポリマー
テトラフルオロエチレンをベースとしたフルオロポリマーは，通常パーフルオロポリマーと呼ばれ，高耐薬品性と低表面エネルギーで知られている。これにより、半導体加工に使用される腐食剤や現像剤など、材料が様々な物質を排除する必要がある用途に適している。
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含フッ素ポリマーの学術論文
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Dissolution behavior of tetrafluoroethylene-based fluoropolymers for 157-nm resist materials
関連化学物質
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α,α-ビス(トリフルオロメチル)ノルボルナ-5-エン-2-エタノール
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