成核はCVDなどの薄膜堆積過程における重要なステップである。これは、基板上に材料を形成する小さな初期クラスターまたはコアに関する。高速成核は均一で高品質な薄膜の獲得に有利である。
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Cyclobutane,1,1-dimethyl-3