?CF 3+R 3 SiHCF 3 R 3 Si?CF?+R?SiH\right tarrow CF?R?SI?CF 3?+R 3?SiHCF 3?R 3?SI 3 CH 2+R 3 SiH 3 CHR 3 Si 3 CH?+R?SiH\right tarrow 3 CHR?Si 3 CH 2?+R 3?SiH 3 CHR 3?SI
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Silane, trifluoro(trifluoromethyl)-