これはトリメチルシリル(TMS)を分子に添加する化学反応であり,通常はアルコールやフェノールである。この反応は、一般に、官能基を保護するために、またはTMS基を導入してさらなる操作を行うために有機合成に使用される。
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o-Ethylphenyl-trimethylsilylether
(1-(3-bromophenyl)ethoxy)trimethylsilane
(ヘキシルオキシ)トリメチルシラン