バトフェナントロリンジスルホン酸ジナトリウム

基本情報

• 化学名: バトフェナントロリンジスルホン酸ジナトリウム
• CAS番号: 53744-42-6
• 化学分子式: C₂₄H₁₄N₂Na₂O₆S₂
• 分子量: 554.512
• Hs コード: 2915291000
• Mol ファイル ダウンロード: 53744-42-6.mol

別名: 4,4′-(1,10-フェナントロリン-4,7-ジイル)ビス(ベンゼンスルホン酸ナトリウム) , 4,7-ビス[4-(ソジオスルホ)フェニル]-1,10-フェナントロリン , 4,4′-(1,10-フェナントロリン-4,7-ジイル)ビスベンゼンスルホン酸ジナトリウム , 4,7-ビス[4-(ソジオオキシスルホニル)フェニル]-1,10-フェナントロリン , 4,4′-(1,10-フェナントロリン-4,7-ジイル)ビス(ベンゼンスルホン酸)ジナトリウム , ナトリウム 4-(7-{4-[(ソジオオキシ)スルホニル]フェニル}-1,10-フェナントロリン-4-イル)ベンゼン-1-スルホナート , sodium 4-(7-{4-[(sodiooxy)sulfonyl]phenyl}-1,10-phenanthrolin-4-yl)benzene-1-sulfonate ,

関連する cas 番号: 599-99-5 599-98-4 599-97-3 59996-09-7 59995-65-2 59995-64-1 59995-59-4 59994-27-3 59994-21-7 599-94-0

化学物質詳細情報

物性情報:

安全性情報:

• ピクトグラム: Xi
• 危険コード: Xi
• ステートメント: R36/38; R36/37/38
• 安全に関する声明: S26; S36; S24/25; S37/39

用途:

• 法規制番号: 8-(1)-707 , 8-(1)-862 , EINECS2587407 , TSCA(53744-42-6) ,
• 紹介と応用です: バトフェナントロリンジスルホン酸ジナトリウムは、半導体技術分野で重要な化学物質です。特に、平面型シリコンデバイスの製造において、バッファ溶剤として使用されます。この溶剤は、熱成長やシランSiO2によって形成されるシリカフィルムを溶解する能力があり、半導体プロセスで形成されるドープされたシリカフィルムも溶解できます。化学反応は4HF + SiO2 → SiF4 + 2H2Oとなります。また、バッファ溶剤は、新しい半導体平面およびメサデバイスの製造技術においても問題なく動作することをお勧めし、ネガティブおよびポジティブのフォトレジストとも互換性があります。これにより、マークされた酸化膜の下切削、表面汚染、または金属不純物によるデバイスの劣化を防ぐことができます。さらに、バッファ溶剤は、即席使用可能で経済的であり、プロセスの再現性が優れており、マスクされた酸化膜の下切削を起こさず、拡散されたシリコン表面を汚染せず、シリコン表面の汚染を防ぎます。フォトレジストコーティングも影響を受けません。HF活性バッファは安定しており、製造プロセス仕様に基づいて除去または制御された硝酸イオンと重金属材料の特定の不純物がほとんど含まれていません。