メチルシラン

基本情報

• 化学名: メチルシラン
• CAS番号: 992-94-9
• 化学分子式: CH₆Si
• 分子量: 46.1441
• Hs コード: 2931900090
• Mol ファイル ダウンロード: 992-94-9.mol

別名: メチルシラン ,

関連する cas 番号: 9000-01-5 9000-05-9 9000-07-1 9000-11-7 9000-16-2 9000-21-9 9000-30-0 9000-40-2 9000-55-9 90005-90-6

化学物質詳細情報

物性情報:

安全性情報:

• ステートメント: 12-14-20/21 17

用途:

• 法規制番号: EINECS2135985 , TSCA(992-94-9) ,
• 紹介と応用です: メチルシランは、CH3SiH3とも呼ばれる無色の、燃えやすい气体で、強い臭いを放ちます。これは有機シリコン化合物の一種であり、シリコン含有材料の合成において前駆体として一般的に使用されています。また、有機化学の反応剤としても利用されています。メチルシランは非常に活性があり、水合シリコン化や聚合化など、さまざまな化学反応を起こすことができます。また、シリコンベースの半導体製造においてドープングガスとして使用され、化学蒸気沈積プロセスでのシリコンの源としても利用されています。燃えやすく活性的なため、メチルシランを扱う際には適切な取り扱いと保管手順が必要です。